SMC主管路過濾器/SMC空氣過濾器/日本SMC過濾器
特長 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調等。
 冷凍式溫控器  HRGC
 經(jīng)濟型溫控器（單相電源 系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRGC  5～35℃ 1～5kW ±1.0℃/
特長 空冷類。設置操作簡單、在任何需要場合都可以得到冷卻水。
廣泛的應用于激光加工機/分析儀/LCD制造設備/模具溫調等。
適合海外出口（單相200～230V）
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
特長 溫度穩(wěn)定性高、溫度調節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設備。
適用各種安全標準。
符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
冷凍式溫控器   HRZ
高溫控器（帶變頻器）
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
特長 在HRZ系列高的基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現(xiàn)了省能化。
兼?zhèn)鋸V泛的溫度調節(jié)范圍和冷卻能力范圍。
適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。
符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
：\39526590\39529839/39529830轉8005或者8002
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\39529831\39529839\39529839-8007或者8008
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公司;www.hengyuancookware.com
；單榮兵/余娟
SMC主管路過濾器/SMC空氣過濾器/日本SMC過濾器
高溫控器（水冷卻式）
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRW  20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷卻式 氟素化液
特長 可以與內循環(huán)用水直接進行熱交換。
適用于無需冷凍設備調溫的場合。
溫度穩(wěn)定性高、溫度調節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設備。
符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
可選擇帶變頻器類型。
帕耳帖式溫控器  HEC
高精度溫控器
系列/
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HEC  10～60℃ 230W ±0.01～
0.03℃ 帕爾貼式
空冷卻式 清水
600、1200W ±0.01～
0.03℃ 帕爾貼式
水冷卻式 清水
氟素化液
特長 用于高精度的溫度控制。
用帕爾貼式元件可實現(xiàn)無氟里昂高精度溫度控制。