SMC高精度數(shù)字式壓力開關(guān)/SMC數(shù)字式壓力開關(guān)
V形帶形式，濾芯更換簡單 （帶防止蓋飛出機構(gòu)）
工業(yè)用過濾器／容器型（特訂生產(chǎn)）   FGA
系列 接管口徑 zui高使用壓力 使用溫度 （℃ ）
FGA  法蘭JIS 10KFF
25～150 （1B～6B） 1MPa MAX.80
特長 大流量的過濾 （MAX. 350L/min）
工業(yè)用過濾器／容器型（特訂生產(chǎn)）   FGB
系列 接管口徑 zui高使用壓力 使用溫度 （℃ ）
FGB  法蘭JIS 10KFF
25～150 （1B～6B） 1MPa MAX.80
特長 大流量的過濾 （MAX.3800L/min）
工業(yè)用過濾器／容器型（特訂生產(chǎn)）   FGC
系列 接管口徑 zui高使用壓力 使用溫度 （℃ ）
FGC  法蘭JIS及JPI
1/2B～1B 1.2,4MPa MAX.80
特長 小流量的過濾（MAX.80L/min）
袋式過濾器  FGF
系列/CAD 接管口徑 zui高使用壓力 使用溫度 （℃ ）
FGF  Rc2,4B法蘭, 6B法蘭 0.5MPa MAX.80
：\39526590\39529839/39529830轉(zhuǎn)8005或者8002
//
\39529831\39529839\39529839-8007或者8008
/
公司;www.hengyuancookware.com
；單榮兵/余娟
SMC高精度數(shù)字式壓力開關(guān)/SMC數(shù)字式壓力開關(guān)
特長 在HRZ系列高的基礎(chǔ)上，采用了DC變頻壓縮機，實現(xiàn)了省能化。
兼?zhèn)鋸V泛的溫度調(diào)節(jié)范圍和冷卻能力范圍。
適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。
符合UL和SEMI標準、CE規(guī)格。
水冷卻式溫控器   HRW
高溫控器（水冷卻式）
系列/
CAD 設(shè)定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩(wěn)定性 冷卻方式 循環(huán)液
HRW  20～90℃ 2～30kW ±0.3℃ 水冷卻式 氟素化液
清水
去離子水（純水）
乙二醇
水溶液
特長 可以與內(nèi)循環(huán)用水直接進行熱交換。
適用于無需冷凍設(shè)備調(diào)溫的場合。
溫度穩(wěn)定性高、溫度調(diào)節(jié)范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設(shè)備。
ZSE3L  正壓 0～98kPa
ISE3  正壓 0～0.98MPa
特長 內(nèi)置故障預報功能。
可用于ZX真空發(fā)生器。
帶真空過濾器。小型壓力開關(guān)   ZSE/ISE1
系列/CAD 種類 額定壓力范圍
ZSE1  真空壓 -101～0kPa
ISE1L  正壓 0～100kPa
ISE1  正壓 0～1MPa
特長 可用于ZM真空發(fā)生器。
小型壓力開關(guān)   ZSE/ISE2