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簡要描述：SMC高真空閥,SMC電磁閥，日本SMC在半導(dǎo)體制造過程中，腐蝕裝置、噴鍍裝置，離子注入裝置和CVD裝置等許多部分，都要把芯片和液晶基板放在真空室內(nèi)處理，該真空室供氣、排氣（真空）用閥，要求它們無泄漏、耐腐蝕且是潔凈規(guī)格。
產(chǎn)品型號：VQ5150-5G1廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2024-05-13訪 問 量：2792詳細(xì)介紹
SMC高真空閥,SMC電磁閥，日本SMC
兩種常見連接形式：
活套法蘭連接
這是閥門中用得多的連接形式。按結(jié)合面形狀又可分為以下幾種：
1）光滑式：用于壓力不高的閥門。加工比較方便。
2）凹凸式：工作壓力較高，可使用中硬墊圈。
3）榫槽式：可用塑性變形較大的墊圈，在腐蝕性介質(zhì)中使用較廣泛，密封效果較好。
4）梯形槽式：用橢圓形金屬環(huán)作墊圈，使用于工作壓力≥64公斤/平方厘米的閥門，或高溫閥門。
5）透鏡式：墊圈是透鏡形狀，用金屬制作。用于工作壓力≥100公斤/平方厘米的高壓閥門，或高溫閥門。
6）O形圈式：這是一種較新的法蘭連接形式，它是隨著各種橡膠O形圈的出現(xiàn)，而發(fā)展起來的，它在密封效果上比一般平墊圈可靠。
產(chǎn)品樣本：
螺紋連接
這是一種簡便的連接方法，常用于小閥門。又分兩種情況：
1）直接密封：內(nèi)外螺紋直接起密封作用。為了確保連接處不漏，往往用鉛油、線麻和聚四氟乙烯生料帶填充；其中聚四氟乙烯生料帶，使用日見廣泛；這種材料耐腐蝕很好，密封效果，使用和保存方便，拆卸時，可以完整地將其取下，因?yàn)樗且粚訜o粘性的薄膜，比鉛油、線麻得多。
2）間接密封：螺紋旋緊的力量，傳遞給兩平面間的墊圈，讓墊圈起密封作用。
小型&大容量
設(shè)置容積減少42%、設(shè)置面積減少26%
VQ4000可驅(qū)動缸徑為Φ160的氣缸
VQ5000可驅(qū)動缸徑為Φ180的氣缸
●省電 消耗電力：0.4W(低功率型)
●壽命長：1億次(根據(jù)本公司條件)
SMC高真空閥,SMC電磁閥，日本SMC
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